EddyCus® TF map Hybrid, Optical Transmission and Sheet Resistance Measurement / Mapping
EddyCus® TF map Hybrid; iletken ince filmler için temassız, gerçek-zamanlı, otomatik haritalama ( mapping ) özellikli tabaka direnci / % optik geçirgenlik ölçüm cihazı olup, ayrıca istenildiğinde metal filmlerin tabaka kalınlığı ölçümünü de yapabilmektedir. Cihaz, içerdiği optik sensör sayesinde, geliştirilmesi ve üretimi zor bir süreç olan saydam (transparent ) iletken filmlerin optik geçirgenlik özelliklerini hassas olarak belirler. Sistem, 8’’ ( 200x200 mm ) ‘e kadar ince filmlerin tabaka direnci / optik geçirgenlik ölçümlerini temassız, haritalama fonksiyonu ile beraber gerçekleştirir. Akıllı cam uygulamaları, şeffaf antistatik folyolar, fotovoltaik uygulamalar, TCO'lar ve grafen çalışmaları için ideal bir modeldir. EddyCus TF map Hybrid sistemi, deposition, annealing ve doping süreçlerin kalitesinin değerlendirilmesi için kullanılır. Bu temassız sisteminin bir başka yararı da kapsüllenmiş filmlerin tabaka direncini karakterize yeteneğidir. Sistem LAN veya WLAN üzerinden tablet veya dizüstü bilgisayara bağlandığında yazılımla entegre olabilmektedir. EddyCus® TF map 2020SR yazılımı, Ar-Ge merkezleri ve kalite güvence bölümlerinde kullanıcı dostu sistematik test prosedürlerini geliştirme ve çeşitli veri izleme fonksiyonlarını kontrol eder. Kompakt grafik kullanıcı arayüzü, otomatik olarak haritalama (mapping ) özelliği ile belli bir bölgenin tabaka direnci (Ohm /sq ) / optik geçirgenlik ( % ) / kalınlık ölçümlerini ( nm,µm ) haritalama fonksiyonuyla yapıp; sonuçları istatistiksel ve grafiksel olarak sunabilmektedir. Ayrıca, yazılım, lokal kusurları analiz etmek için istatistiksel analiz ya da renk kodlamasını destekler ve veri aktarma fonksiyonlarını sağlar.
Karakterizasyon Özellikleri
- Temassız - gerçek-zamanlı ölçüm
- 8’’, 200 x 200 mm örnek boyutuna kadar ince filmlerin tabaka direnci ölçümü
- Metalik filmlerin kalınlık ölçümü (nm, µm)( isteğe bağlı )
- Şeffaf ince film numunelerin optik geçirgenlik ölçümü / mapping
- Kapsüllenmiş katmanların tabaka direnci haritalama fonksiyonu
- Düşük ve yüksek iletkenlikli malzemelerin yüzey kalınlığının haritalaması (µm)
Teknik Özellikler
- Eddy akım sensörlü temassız tabaka direnci ölçüm teknolojisi
- Optik geçirgenlik ölçüm teknolojisi ( 380, 532, 632 veya 1032 nm )
- Folyo, cam, altlık vb. numunelerden ölçüm olanağı
- Max.numune kalınlığı: 1 / 2 / 5 /10 / 25 mm
- Tabaka direnci ölçüm aralığı : 0.001 - 10 Ohm / sq < %2 hassasiyet, 10 - 100 Ohm / sq < %3 hassasiyet, 100 - 1000 Ohm / sq < %5 hassasiyet
- Tarama zamanı @ 1mm adım / 100x100 mm : < 3 dakika
- Tarama zamanı @ 1mm adım / 200x200 mm : < 5 dakika
- Tarama adım aralığı : 0.025 – 2.5 mm
- Kalınlık taraması ölçüm aralığı : 1 nm – 500 µm
- Boyut ( w / h / d ) : 498x212x656 mm
- Ağırlık : 22.5 kg
- Opsiyon : Ultrasonik kalınlık sensörü
- Opsiyon : Anizotropi sensörü
Yazılım Özellikleri
- Kolay kullanımlı yazılım
- Ölçüm parametrelerinin tanımlanması, saklanması ve dışa aktarımı
- Yazılım destekli otomatik tabaka direnci / kalınlık haritalaması
