EddyCus® TF lab 4040, Non-Contact Sheet Resistance Tester
EddyCus® TF lab 4040 (Thin Film) ; düşük ve yüksek iletkenliğe sahip ince filmler için temassız, gerçek-zamanlı tabaka direnci ölçüm cihazıdır. Ayrıca metal filmlerin tabaka kalınlığı ölçümünü de yapabilmektedir. TCO'lar, metal filmler, grafen, CNT ve metal nano teller sistemin yaygın aplikasyon alanlarıdır. EddyCus TF lab 4040 sistemi, deposition, annealing ve doping süreçlerin kalitesinin değerlendirilmesi için kullanılır. Sistem, geniş numune ölçüm alanı ile 400x400 mm ye kadar olan numunelerin testlerini yapabilmektedir. Numunenizin pozisyonunu değiştirerek çoklu ölçüm veya manuel haritalama yapılabilinir. Bu temassız sisteminin bir başka yararı da kapsüllenmiş filmlerin, tabaka direncini karakterize yeteneğidir.Sistem LAN veya WLAN üzerinden tablet veya dizüstü bilgisayara bağlandığında yazılımla entegre olabilmektedir. EddyCus® TF lab yazılımı, Ar-Ge merkezleri ve kalite güvence bölümlerinde kullanıcı dostu sistematik test prosedürlerini geliştirme ve çeşitli veri izleme fonksiyonlarını kontrol eder. Ayrıca yazılım, manuel olarak haritalama (mapping ) özelliği ile belli bir bölgenin tabaka direnci ölçümlerini (örneğin 5 x 5 cm) ardışık olarak yapıp; sonuçları istatistiksel ve grafiksel olarak sunabilmektedir.
Karakterizasyon Özellikleri
- Temassız - gerçek-zamanlı ölçüm
- 16’’, 400 x 400 mm örnek boyutuna kadar ince filmlerin tabaka direnci ölçümü
- Kapsüllenmiş katmanların ve çok-katlı sistemlerin karakterizasyonu
- Metalik filmlerin kalınlık ölçümü (nm, µm)
- Düşük ve yüksek iletkenlikli malzemelerin yüzey kalınlığının izlemesi
Teknik Özellikler
- Eddy akım sensörlü temassız tabaka direnci ölçüm teknolojisi
- Folyo, cam, altlık vb. numunelerden ölçüm olanağı
- Numune alanı: 16’’, 400x400 mm
- Max.numune kalınlığı: 1 / 2 / 5 /10 / 25 mm
- Tabaka direnci ölçüm aralığı : 0.001 - 10 Ohm / sq < %2 hassasiyet, 10 - 100 Ohm / sq < %3 hassasiyet, 100 - 1000 Ohm / sq < %5 hassasiyet
- Kalınlık ölçüm aralığı : 1 nm – 500 µm
- Boyut ( w / h / d ) : 760x310x660 mm
- Ağırlık : 20 kg
- Opsiyon : Optik geçirgenlik ölçümü ( 380, 532, 632 veya 1032 nm )
- Opsiyon : Anizotropi sensörü
Yazılım Özellikleri
- Gerçek zamanlı tabaka direnci ve kalınlık gösterimi
- Ölçüm parametrelerinin tanımlanması, saklanması ve dışa aktarımı
- Yazılım destekli manuel tabaka direnci haritalaması
