EddyCus® TF lab 2020, Non-Contact Sheet Resistance Tester
EddyCus® TF lab 2020 (Thin Film) ; iletken ince filmler için temassız, gerçek-zamanlı tek nokta tabaka direnci test cihazı olup, ayrıca metal filmlerin tabaka kalınlığı ölçümünü de yapabilmektedir.Sistem, özellikle son derece hassas ince filmlerin tabaka direnci ölçümlerini temassız ve yüzeye zarar vermeden gerçekleştirir. TCO'lar, metal filmler, grafen, CNT ve metal nano teller sistemin yaygın aplikasyon alanlarıdır. EddyCus TF Lab sistemi, deposition, annealing ve doping süreçlerinin kalitesinin değerlendirilmesi için kullanılır. Bu temassız sisteminin bir başka yararı da kapsüllenmiş filmlerin tabaka direncini ölçüm yeteneğidir. Sistem LAN veya WLAN üzerinden tablet veya dizüstü bilgisayara bağlandığında, yazılımla entegre olabilmektedir. EddyCus® TF lab yazılımı, Ar-Ge merkezleri ve kalite güvence bölümlerinde kullanıcı dostu sistematik test prosedürlerini geliştirme ve çeşitli veri izleme fonksiyonlarını kontrol eder. Ayrıca yazılım, manuel olarak haritalama ( mapping ) özelliği ile belli bir bölgenin tabaka direnci ölçümlerini (örneğin 5 x 5 cm) ardışık olarak yapıp; sonuçları istatistiksel ve grafiksel olarak sunabilmektedir.
Karakterizasyon Özellikleri
- Temassız - gerçek-zamanlı ölçüm
- 8’’, 200 x 200 mm örnek boyutuna kadar ince filmlerin tabaka direnci ölçümü
- Kapsüllenmiş katmanların ve çok-katlı sistemlerin karakterizasyonu
- Metalik filmlerin kalınlık ölçümü (nm, µm)
- Düşük ve yüksek iletkenlikli malzemelerin yüzey kalınlığının izlemesi
Teknik Özellikler
- Eddy akım sensörlü temassız tabaka direnci ölçüm teknolojisi
- Folyo, cam, altlık vb. numunelerden ölçüm olanağı
- Numune alanı: 8’’, 200x200 mm
- Max.numune kalınlığı: 1 / 2 / 5 /10 / 25 mm
- Tabaka direnci ölçüm aralığı : 0.001 - 10 Ohm / sq < %2 hassasiyet, 10 - 100 Ohm / sq < %3 hassasiyet, 100 - 1000 Ohm / sq < %5 hassasiyet
- Kalınlık ölçüm aralığı : 1 nm – 500 µm
- Boyut ( w / h / d ): 290x140x445 mm
- Ağırlık : 10 kg
- Opsiyon : Anizotropi sensörü
Yazılım Özellikleri
- Gerçek zamanlı tabaka direnci ve kalınlık gösterimi
- Ölçüm parametrelerinin tanımlanması, saklanması ve dışa aktarımı
- Yazılım destekli manuel tabaka direnci haritalaması
